硅片插入器
◆工作机架和硅片盒夹具均采用不锈钢制造，耐腐蚀，经特殊亚光电化学处理。 ◆配置：磁力循环水泵，水箱总容积0.3m，硅水床滑台，滚珠丝杆驱动三工位升降篮架，三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机，三菱可编程控制器，Autonics传感器，eao按钮。
◆普通125mm~156mm硅片，节拍40~60 / min。 ◆手动调节，自动电镀（需手动加载）。
◆全封闭设计，美观大方;一体式组合脚轮，定位和移动两种。 ◆管件，滤水器和阀门由304不锈钢制成。
◆电气传动系统采用PLC可编程控制器和高分辨率伺服电机;机械传动采用直线轴承滑块，直线轴和滚珠丝杠副，结构简单，运动精度高。 ◆花篮到位检测，胶片卡在报警器中;它可以防止碎片和故障。
◆快速更换花篮夹具，随时适应产品;水床滑动和水流增强，以提高板材的可靠性。 ◆产品执行标准：符合国家相关工业技术标准。
型号BAM-6/8尺寸（长×宽×高）1420×760×2000硅片规格125mm~156mm厚度0.16~0.2mm硅片盒距离4.76mm控制系统PLC可编程控制器电源规格单相交流220V50Hz工业电源装机容量0.7KW能耗＆lt; 0.7KW主要材料304不锈钢型材，板材。
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