◆外壳采用304不锈钢材料制成,表面经过抛光处理。
外观简洁流畅。
◆工作机架和硅片盒夹具均采用不锈钢制造,耐腐蚀,经特殊亚光电化学处理。
◆配置:磁力循环水泵,水箱总容积0.3m,硅水床滑台,滚珠丝杆驱动三工位升降篮架,三菱高分辨率MR-J2S系列伺服电机,三菱可编程控制器,Autonics传感器,eao按钮。
◆普通125mm~156mm硅片,节拍40~60 / min。
◆手动调节,自动电镀(需手动加载)。
◆全封闭设计,美观大方;一体式组合脚轮,定位和移动两种。
◆管件,滤水器和阀门由304不锈钢制成。
◆电气传动系统采用PLC可编程控制器和高分辨率伺服电机;机械传动采用直线轴承滑块,直线轴和滚珠丝杠副,结构简单,运动精度高。
◆花篮到位检测,胶片卡在报警器中;它可以防止碎片和故障。
◆快速更换花篮夹具,随时适应产品;水床滑动和水流增强,以提高板材的可靠性。
◆产品执行标准:符合国家相关工业技术标准。
型号BAM-6/8尺寸(长×宽×高)1420×760×2000硅片规格125mm~156mm厚度0.16~0.2mm硅片盒距离4.76mm控制系统PLC可编程控制器电源规格单相交流220V50Hz工业电源装机容量0.7KW能耗< 0.7KW主要材料304不锈钢型材,板材